洁净技术标准
美国联邦标准 （USA F S209E)
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洁净度级别
CLEAN CLASS |
粒 经 PARTICLE SIZE(um) |
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0.1 |
0.2 |
0.3 |
0.4 |
0.5 |
|
1 |
35.0 |
7.50 |
3.00 |
1.00 |
NA |
|
10 |
350 |
75.0 |
30.0 |
10.0 |
NA |
|
100 |
NA |
750 |
300 |
100 |
NA |
|
1000 |
NA |
NA |
NA |
1000 |
7.00 |
|
10000 |
NA |
NA |
NA |
10000 |
70.3 |
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100000 |
NA |
NA |
NA |
100000 |
700 |
我国洁净厂房设计规范标准（GBJ－73－84）
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等级 |
每立方米（升）空气中≥0.5um尘粒数 |
每立方米（升）空气中≥5um尘粒数 |
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100级 |
≤35×100（3.5) |
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1000级 |
≤35×1000（35) |
≤250（0.25) |
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10000级 |
≤35×10000（350) |
≤2500（2.5) |
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100000级 |
≤35×100000（3500) |
≤25000（25) |
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